在真空设备使用运行阶段，时常出现设备气密性下降，总体漏率上升的情况，这种情况下就需要检漏仪器的帮助了，并且是影响真空设备正常工作的主要原因。 造成这种现象的原因包括：机械振动造成连接部位松动;经常拆卸部位的密封圈可能损坏或安装不正确;由于冷、热冲击而发生变形和疲劳破坏;某些部件或材料因受工作介质的腐蚀而破坏;某些原本被水、油或其他脏物堵塞的漏孔重新疏通;以及应力集中而造成裂纹等。
真空设备使用时应该注意哪些： 1、真空设备用于排除实验过程中大气对于样品纯净度的影响。 2. 实验操作人员进行操作过程中，切勿携带电子产品。 3、实验操作人员需佩戴真空设备专用操作手套进行操作，不能直接触碰真空设备。 4、真空设备配件应在干燥箱内保存，并远离具有腐蚀性的化学气体或液体。 5、真空设备需定期进行擦拭，应选用无尘纸或无尘布配套酒精或丙酮进行清洁。 6、实验室应保持一定干燥度，实验操作人员应每日检查实验室的湿度及温度情况。 7、实验室应保持良好通风，以避免机械泵油气所造成的影响。 8、真空设备前级泵如使用油泵，应定期更换干燥剂及机油。 9、操作人员应关注真空设备所使用分子泵的温度，以免过热导致仪器寿命缩短。 10、 操作人员应在分子泵转速降至安全线以下后，放入氮气或液氮。 11、 操作人员应密切关注高压离子泵电源接口损耗程度，以防止操作人员触电，确保安全。 12、操作人员应在真空度达到1×10-8mbar 以上启动离子泵。 13、 实验人员进行操作时，应严格按照各真空设备操作步骤进行阀门开关，以防止气压差所引起的倒抽现象。 14、 警钟响亮时切勿再进行实验，应立刻通知实验室负责人及维修人员检查。 15、 如遇特殊情况，应立刻通知所有在场者迅速离开，并切断真空设备电源。
